에어리퀴드(Air Liquide)가 반도체 및 우주 산업 분야 고객을 위해 한국에 새로운 최첨단 고순도 크립톤(Kr) 및 제논(Xe) 정제공장을 착공했다고 밝혔다.

신규 정제 공장은 극저온 분야에 대한 에어리퀴드의 전문 지식과 독점 기술을 바탕으로 충청남도 천안시에서 올해 3월 착공됐으며, 2025년부터 본격적인 양산을 계획 중이다. 이 신규 공장을 통해 에어리퀴드는 고객의 다양하고도 엄격한 요구 사항을 충족시킬 수 있는 고순도 크립톤과 제논을 국내에서 생산할 수 있게 된다.

크립톤과 제논은 반도체, 우주 산업 등 첨단기술에 주로 사용되는 희귀가스다. 반도체 산업에서는 메모리칩 생산의 핵심 소재로써 3D 낸드의 단수 증가에 핵심적인 공정인 수직 홀을 식각하는 공정에 주로 사용된다. 우주 산업에서는 인공위성의 전기 추진체에 크립톤과 제논이 사용되는데, 이는 다른 기술에 비해 무게를 줄이고 효율성을 높이는 기술이다.

이 신규 정제 공장을 통해 에어리퀴드 고객을 위한 희귀가스의 안정적인 공급이 촉진됨으로써 한국 및 아시아의 희귀가스 공급망이 한층 더 강화될 전망이다. 특히 반도체 산업과 우주 산업 분야에서 이러한 고부가가치 소재의 공급 신뢰성을 높임으로써 에어리퀴드는 국내 고순도 희귀가스 수요 확대에 대응할 수 있는 역량을 갖추게 된다.